中文名称:硅化钒
CAS No:12039-87-1
EINECS号：234-908-5
分子式:Si2V
沸点:°Cat760mmHg
闪光点:°C
密度:4.420
用途:硅化物是制备大规模集成电路的关键材料，用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线，超大规模集成电路结深很浅，如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm ，在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线，经常导致PN 结穿通，使电路失效，为此则需要制备薄层硅化物，其中硅化钒是一种 的选择。
安全说明:26-36